北方最大半导体材料基地新进展！3大主体车间即将封顶数字化仪

据大众网报道，山东有研集成电水电改造路用大尺寸硅材料规模化生产项目正在加快建设。目前，3个主体车间即将封顶，这个从北京而来的投资项目，将成为山东乃至全国半导体产测量仪业的重要基地。项目预计明年6月份投产。

据了解，有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目由有研科技集团、日本RST株式会社控股的有研半导体材料有限公司出资，山东有研半导体材料有限公司建设，是德州东部城区创新组团的龙头项目，已被山东省政府列为2019年省级重点头号项目。

项目总投资约80亿元，分两期建设。德州政府网此前的报道指出，项目一期占地326亩，建设直拉车间厂房、硅片厂房、动力中心等，搬迁北京现有的6英寸、8英寸硅晶圆、8英寸单晶硅生产线并扩大产能，形成年产8英寸企业信贷硅片276万片、6英寸硅片180万片、12—18英寸大直径硅单晶300吨的生产能力。二期项目建设12英寸硅晶圆中试线科研成果产业化基地，年产360万片12英寸硅片。

该项目于2018年7月由德州与有研科技集团半导体材料公司签订，据齐鲁网报道，该项目规模也是目前北方最大的半导体材料基地。

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